Mae'r wafer wedi'i wneud o silicon pur (Si).Wedi'i rannu'n gyffredinol yn fanylebau 6 modfedd, 8 modfedd a 12 modfedd, cynhyrchir y wafer yn seiliedig ar y wafer hwn.Gelwir wafferi silicon sy'n cael eu paratoi o led-ddargludyddion purdeb uchel trwy brosesau fel tynnu grisial a thafellu yn wafferi beca.defnyddio maent yn grwn o ran siâp.Gellir prosesu strwythurau elfen cylched amrywiol ar y wafferi silicon i ddod yn gynhyrchion â phriodweddau trydanol penodol.cynhyrchion cylched integredig swyddogaethol.Mae wafferi yn mynd trwy gyfres o brosesau gweithgynhyrchu lled-ddargludyddion i ffurfio strwythurau cylched hynod o fach, ac yna'n cael eu torri, eu pecynnu a'u profi'n sglodion, a ddefnyddir yn helaeth mewn amrywiol ddyfeisiau electronig.Mae deunyddiau wafferi wedi profi mwy na 60 mlynedd o esblygiad technolegol a datblygiad diwydiannol, gan ffurfio sefyllfa ddiwydiannol sy'n cael ei dominyddu gan silicon ac a ategir gan ddeunyddiau lled-ddargludyddion newydd.
Mae 80% o ffonau symudol a chyfrifiaduron y byd yn cael eu cynhyrchu yn Tsieina.Mae Tsieina yn dibynnu ar fewnforion am 95% o'i sglodion perfformiad uchel, felly mae Tsieina yn gwario US$220 biliwn bob blwyddyn i fewnforio sglodion, sef dwywaith mewnforion olew blynyddol Tsieina.Mae'r holl offer a deunyddiau sy'n gysylltiedig â pheiriannau ffotolithograffeg a chynhyrchu sglodion hefyd wedi'u rhwystro, megis wafferi, metelau purdeb uchel, peiriannau ysgythru, ac ati.
Heddiw, byddwn yn siarad yn fyr am yr egwyddor o ddileu golau UV o beiriannau wafferi.Wrth ysgrifennu data, mae angen chwistrellu gwefr i'r giât arnofio trwy gymhwyso VPP foltedd uchel i'r giât, fel y dangosir yn y ffigur isod.Gan nad oes gan y tâl chwistrellu yr egni i dreiddio wal ynni'r ffilm silicon ocsid, dim ond y status quo y gall ei gynnal, felly mae'n rhaid i ni roi swm penodol o egni i'r tâl!Dyma pryd mae angen golau uwchfioled.
Pan fydd y giât arnofio yn derbyn arbelydru uwchfioled, mae'r electronau yn y giât arnofio yn derbyn egni cwanta golau uwchfioled, ac mae'r electronau'n dod yn electronau poeth gydag egni i dreiddio wal ynni'r ffilm silicon ocsid.Fel y dangosir yn y ffigur, mae electronau poeth yn treiddio i'r ffilm silicon ocsid, yn llifo i'r swbstrad a'r giât, ac yn dychwelyd i'r cyflwr dileu.Dim ond trwy dderbyn arbelydru uwchfioled y gellir cyflawni'r llawdriniaeth ddileu, ac ni ellir ei ddileu'n electronig.Mewn geiriau eraill, dim ond o "1" i "0" y gellir newid nifer y darnau, ac i'r cyfeiriad arall.Nid oes unrhyw ffordd arall na dileu holl gynnwys y sglodyn.
Gwyddom fod egni golau mewn cyfrannedd gwrthdro â thonfedd golau.Er mwyn i electronau ddod yn electronau poeth a thrwy hynny gael yr egni i dreiddio i'r ffilm ocsid, mae angen arbelydru golau â thonfedd fyrrach, hynny yw, pelydrau uwchfioled.Gan fod yr amser dileu yn dibynnu ar nifer y ffotonau, ni ellir byrhau'r amser dileu hyd yn oed ar donfeddi byrrach.Yn gyffredinol, mae dileu yn dechrau pan fydd y donfedd tua 4000A (400nm).Yn y bôn mae'n cyrraedd dirlawnder o gwmpas 3000A.Islaw 3000A, hyd yn oed os yw'r donfedd yn fyrrach, ni fydd yn cael unrhyw effaith ar yr amser dileu.
Y safon ar gyfer dileu UV yn gyffredinol yw derbyn pelydrau uwchfioled gyda thonfedd manwl gywir o 253.7nm a dwyster o ≥16000 μ W / cm².Gellir cwblhau'r llawdriniaeth ddileu erbyn amser datguddio sy'n amrywio o 30 munud i 3 awr.
Amser postio: Rhagfyr-22-2023